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The Mechanical Properties of Submicron-Thick, Large-Area 3C-SiC Diaphragms 学位论文
学位授予机构: Case Western Reserve University / OhioLINK. 出版年: 2012
作者:  Rawlinson;Patrick Theodore
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/11/29
Engineering  Mechanics  Nanotechnology  Silicon Carbide Diaphragms  MEMS  NEMS  Mechanical Properties  Thin Films