Knowledge Resource Center for Ecological Environment in Arid Area
| The Mechanical Properties of Submicron-Thick, Large-Area 3C-SiC Diaphragms | |
| Rawlinson;Patrick Theodore | |
| 出版年 | 2012 |
| 学位授予单位 | Case Western Reserve University / OhioLINK |
| 英文关键词 | Engineering Mechanics Nanotechnology Silicon Carbide Diaphragms MEMS NEMS Mechanical Properties Thin Films |
| 语种 | 英语 |
| URL | http://rave.ohiolink.edu/etdc/view?acc_num=case1328296558 |
| 来源机构 | Case Western Reserve University |
| 资源类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://119.78.100.177/qdio/handle/2XILL650/246437 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Rawlinson;Patrick Theodore. The Mechanical Properties of Submicron-Thick, Large-Area 3C-SiC Diaphragms[D]. Case Western Reserve University / OhioLINK,2012. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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