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Arid

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A memory efficient large mask data handling method using repetition 会议论文
会议名称: 26th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology. 会议地点: Monterey, CA. 会议日期: SEP 19-22, 2006
作者:  Choi, Jin-Sook;  Shin, Jae-Pil;  Lee, Jong-Bae;  Yoo, Moon-Hyun;  Kong, Jeong-Taek
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repetition  OASIS  mask data preparation