干旱区生态环境知识资源中心(Arid): 热式流量传感器

Arid

	热式流量传感器
申请日	2015-11-18
申请号	CN201580064579.0
申请公布日	2017-08-01
授权公告日	2021-03-09
授权公告号	CN107003165B
专利类型	授权发明
授权国家	中国
摘要	在现有的空气流量计中，对于粒径较大的异物利用惯性力来应对接触检测元件，但是对于粒径在10μm以下的质量非常小的异物，存在在旁通结构内部惯性力几乎不起作用而附着在检测元件上的可能性。另外，上述粒径在10μm以下的质量非常小的异物主要可列举美国SAE标准J726C中规定的AC粉尘等，是对美国亚利桑那的沙漠的沙进行精炼而制造的，已知该沙(沙尘)易于带电，存在带有静电的粒径较小的粉尘附着在检测元件上时，因其库仑力而难以脱离的课题。上述课题能够用以下特征的热式流量传感器解决，其包括检测流量的半导体元件，该半导体元件在硅等半导体基片上形成绝缘层和电阻配线层，存在除去上述基片的一部分而薄膜化的区域(薄膜)，在该薄膜区域内设置至少一个以上的加热电阻体(加热部)，在其上游和下游配置有检测温度差的测温电阻体，在半导体元件上形成导电性膜，以使上述薄膜内的配线电阻周边区域中的向空气流暴露的表面一侧的电位成为任意的固定电位。
	土井良介; 田代忍; 小野瀬保夫; 佐久间宪之
专利权人	日立安斯泰莫株式会社
IPC 分类号	G01F1/692
国民经济行业分类	C4021 ; C4014 ; C4016
专利有效性	有效
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司
资源类型	专利
条目标识符	http://119.78.100.177/qdio/handle/2XILL650/383704
推荐引用方式 GB/T 7714	土井良介,田代忍,小野瀬保夫,等. 热式流量传感器[P]. 2021-03-09.