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Trace rare gases optical emission spectroscopy for determination of electron temperatures and species concentrations in chlorine-containing plasmas 会议论文
会议名称: Joint Magneto-Optical Recording International Symposium / International Symposium on Optical Memory 1997 (MORIS/ISOM 97). 会议地点: YAMAGATA, JAPAN. 会议日期: OCT 27-31, 1997
作者:  Donnelly, VM;  Malyshev, MV;  Kornblit, A;  Ciampa, NA;  Colonell, JI;  Lee, JTC
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Trace rare gases optical emission spectroscopy for determination of electron temperatures and species concentrations in chlorine-containing plasmas 期刊论文
发表期刊: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS. 出版年: 1998, 卷号: 37, 期号: 4B, 页码: 2388-2393
作者:  Donnelly, VM;  Malyshev, MV;  Kornblit, A;  Ciampa, NA;  Colonell, JI;  Lee, JTC
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/11/28
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