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Arid

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Effective area partitioning for preparing parallel processing in mask data preparation - art. no. 67304C 会议论文
会议名称: 27th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology. 会议地点: Monterey, CA. 会议日期: SEP 18-21, 2007
作者:  Satou, Yoshiyuki;  Okamoto, Yasushi;  Fujimoto, Manabu;  Tsuchida, Hiroshi;  Satou, Akiko
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parallel process  mask data preparation (MDP)  MRC  OASIS  
Data exploder for Variable Shaped Beam exposure - art. no. 66070W 会议论文
会议名称: Conference on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIV. 会议地点: Yokohama, JAPAN. 会议日期: APR 17-19, 2007
作者:  Nogatch, John;  Kirsch, Hartmut;  Shi, Jun
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Data Exploder  inspection  Mask Data Preparation (MDP)  OASIS.VSB  Variable Shaped Beam (VSB)